研究設備

マイクロ加工設備

  • ウェットエッチング・洗浄ステーション
  • リアクティブイオンエッチング装置: サムコ RIE-10NR
  • 超臨界洗浄装置
  • 電子ビーム蒸着装置
  • 卓上型レーザー・パターン・ジェネレーター: 日本レーザ μPG101 (メーカ: Heidelberg Instruments Mikrotechnik)
  • 小型エキシマレーザ微細加工装置: BEAMS LB-RX /XS (メーカ: Optec)
  • イオンビームスパッタ・ミリング装置: Elionix EIS-220G1
  • スパッタリング装置: SANVAC SP-3600

ソフトアクチュエータ作製・加工設備

  • 3Dプリンタ: MakerBot Replicator
  • 3Dプリンタ: ATOM MAESTRO
  • 小型CNCフライス

マイクロ・ナノ評価設備

  • 電子顕微鏡 (SEM)
  • 3CCDリアルカラーコンフォーカル(共焦点)顕微鏡: Lasertec OPTELICS H1200 (WIDE)

評価設備

  • フーリエ変換近赤外/中赤外分光分析装置: パーキンエルマー Frontier MIR/NIR with NIRA
  • 赤外顕微鏡・イメージングシステム: パーキンエルマー Spotlight 400 with ATRイメージングアクセサリー
  • LCRメータ: 日置電機 3522-50・3532-50
  • レーザ変位計: Keyence LK-G85・LK-G30
  • データロガー: Keyence NR-500
  • ナショナルインスツルメンツ製測定モジュール: 4チャンネル同時サンプリングブリッジモジュール: NI 9237 with D-Sub他
  • ナショナルインスツルメンツ製モーションコントローラ: 低コスト2軸ステッピングモータコントローラ NI PCI-7332他
  • 自動ステージ(xyzなど): シグマ光機・中央精機他
  • ステッピングモータ
  • ロードセル各種: 共和電業
  • ファンクションジェネレータ
  • デジタルマルチメータ
  • 直流電源装置
  • その他(GPIB制御キット他)

ソフトウェア

  • ソフトウェア開発環境（Microsoft Visual Studio・NI LabVIEW）
  • 有限要素法解析環境（COMSOL）
  • 3D・2D CAD（AutoCAD・Inventor・EAGLE・Fusion360）
  • グラフ描画・データ解析環境（ORIGIN）
  • 数値解析ソフトウェア（MATLAB＆Simulink・Mathematica）
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